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業界資訊

真空泵應該這樣選?

1、真空泵的工作壓強應該滿足真空設備的極限真空及工作用強要求。如:真空鍍膜要求1x10-5mmHg的真空度,選用的真空泵的真空度至少要5x10-6mmHg。通常選相泵的真空度要高于真空設備真空度半個到一個數量級。


2、正確地選擇真空泵的工作點。每種泵都有一定的工作圧強范圍, 如:擴散泵為10-3~10-7?Hg,在這樣寬壓強范圍內,泵的抽速隨圧強而變化,其穩定的工作壓強范圍為5 x10-4~5x10-6 mmHg.因而, 泵的工作點應該選在這個范圍之內,而不能讓它在10-8mmHg下長期工作。又如鈦升華泵可以在10-2mmHg下工作, 但其工作圧強向應小于1 x 10-5mmHg為好。

3、真空泵在其工作壓強下, 應能排走真空設備工藝過程中產生的全部氣體量.


4、正確地組合真空泵 。 由于真空泵有選擇性抽氣, 因而,有時選用一種泵不能滿足抽氣要求, 需要幾種泵組合起來,互相補充才能滿足抽氣要求。如鈦大升華泵對氫有很高的抽速, 但不能抽氦,而三級型濺射離子泵,  (或二級型非對稱陰極濺射離子泵)對氬有一定的抽速,兩者組合起來,便會使真空裝置得到較好的真空度. 另外,有的真空泵不能在大氣壓下一工作,需要預真空:有的真空泵出口圧強低于大氣壓,需要前級泵,故都需要把泵組合起來使用.


5、真空設備對油污染的要求。若設備嚴格要求無油時, 應該選擇各種無油泵,如:水環泵、分子篩吸附泵、濺射離子泵、低溫泵等.如果要求不嚴格,可以選擇有油泵,加上一些防油污染措施,如加冷阱、障板、 擋油阱等,也能達到清潔真空要求. 


6、了解被抽氣體成分,氣體中含不含可凝蒸氣,有無顆?;覊m,有無腐蝕性等。選擇真空泵時需要知道氣體成分,針對被抽氣體造擇相應的泵。如果氣體中含有蒸氣、 顆粒、及腐蝕性氣體,應該考慮在泵的進氣口管路上安裝輔助設備,如冷凝器、除塵器等。


7、 真空泵排出來的油蒸汽對環境的影響如何。如果環境不允許有污染,可以選無油真空泵,或者把油蒸氣排到室外 。


8、真空泵工作時產生的振動對工藝過程及環境有無影響 。 著工藝過程不允許, 應選擇無振動的泵或者采取防振動措施 。


9、真空泵的價格、返轉及維修費用。


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點擊次數:  更新時間:2016-12-15 10:32:40  【打印此頁】  【關閉
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